VLSI Standards
石英台阶高度标准样片 SHS
Step Height Standards (Quartz)
校准标准NIST轮廓仪
用于机械式与光学轮廓仪的台阶高度校准
可选规格
28 个可询型号 · 台阶高度 / 镀层
Standards
标准样片
用于半导体与精密量测设备校准、性能验证和日常检查的参考样品，支持尺寸、膜厚、形貌与颗粒检测结果确认
VLSI Standards
超厚台阶高度标准样片 UTSHS
Ultra Thick Step Height Standards
校准标准PTB轮廓仪
用于机械式或光学轮廓仪的大台阶高度（100 µm 以上）校准
可选规格
3 个可询型号 · 台阶高度
VLSI Standards
自动装载台阶高度标准样片 ALSHS
AutoLoad Step Height Standards
校准标准NIST轮廓仪AFM
用于自动晶圆搬运轮廓仪及 AFM 的台阶高度校准
可选规格
30 个可询型号 · 台阶高度 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
表面形貌标准样片 STS
Surface Topography Standards
校准标准NISTAFM光学干涉显微镜
用于 AFM 及光学干涉显微镜的三维表面形貌与扫描线性度校准
可选规格
8 个可询型号 · 周期组合 / Z 向高度
VLSI Standards
表面形貌参考样片 STR
Surface Topography References
参考样片AFM
用于 AFM 等形貌工具的成像确认、扫描线性度检查与长期稳定性监控
可选规格
8 个可询型号 · 周期间距 / Z 向高度
VLSI Standards
NanoCD 线宽标准样片 NCD
NanoCD Standards
校准标准TEMCD-AFMCD-SEM特殊载体
用于 CD-AFM 与 CD-SEM 的关键尺寸（CD）精度校准与工具匹配
可选规格
2 个应用版本 · 21 个可询型号
VLSI Standards
NanoLattice 周期标准样片 NLSM
NanoLattice Pitch Standard
校准标准NISTCD-SEMAFM特殊载体
用于 CD-SEM 与 AFM 的周期间距、倍率及扫描线性度校准
可选规格
3 个应用版本 · 12 个可询型号
VLSI Standards
二氧化硅薄膜厚度标准样片 FTS
Silicon Dioxide Film Thickness Standards
校准标准NIST椭偏仪反射仪
用于椭偏仪与反射仪的 SiO₂ 薄膜厚度校准
可选规格
52 个可询型号 · 薄膜厚度 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
氮化硅薄膜厚度标准样片 NFTS
Silicon Nitride Film Thickness Standards
校准标准NIST椭偏仪反射仪
用于椭偏仪与反射仪的 Si₃N₄ 薄膜厚度校准
可选规格
20 个可询型号 · 薄膜厚度 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
二氧化硅污染颗粒标准样片 SCS
Silica Contamination Standards
校准标准SI 可溯源颗粒检测系统
用于 UV / DUV 颗粒检测设备的二氧化硅颗粒尺寸校准
可选规格
6 个可询型号 · 颗粒尺寸 / 颗粒数量 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
Silica Leopard 多点二氧化硅污染颗粒标准样片 SLCS
Silica Leopard Contamination Standards
校准标准颗粒检测系统
用于同一晶圆多点覆盖不同二氧化硅粒径范围的颗粒尺寸校准
可选规格
2 个可询型号 · 晶圆尺寸 / 二氧化硅球径范围
VLSI Standards
绝对污染颗粒标准样片 ACS
Absolute Contamination Standards
校准标准NIST颗粒检测系统
用于裸硅晶圆颗粒检测设备的 PSL 微球粒径校准
可选规格
49 个可询型号 · 颗粒直径 / 晶圆尺寸 / 颗粒数量
VLSI Standards
Leopard 多点污染颗粒标准样片 LCS
Leopard Contamination Standard Particle Size Analysis
校准标准NIST颗粒检测系统
用于同一晶圆多点覆盖不同 PSL 粒径范围的颗粒尺寸校准
可选规格
11 个可询型号 · PSL 粒径范围 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
电阻率标准样片 RS
Resistivity Standard
校准标准NIST接触/非接触
用于四探针及非接触式仪器的电阻率与方阻校准
可选规格
19 个可询型号 · 电阻率 / 晶圆尺寸
VLSI Standards
ITO 方阻标准样片 ITOSRS
ITO Sheet Resistance Standards
校准标准NIST接触/非接触
用于 LCD、触控屏等行业 ITO 薄膜方阻测量工具校准
可选规格
2 个可询型号 · 方阻