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椭偏与微区反射集成系统
Ellipsometer-Microspectrophotometer Integrated System
椭偏仪190–1700 nm图案化器件微区测量
变角光谱椭偏与正入射微区反射 / 显微分光整合，适合图案化晶圆、MEMS 器件及微米级区域薄膜分析
Metrology Instruments & Technical Services
量测仪器与技术服务
覆盖光学薄膜、晶圆几何、表面轮廓等量测仪器，提供选型配置、应用导入、安装支持与维修维护服务
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红外光谱椭偏仪
Infrared Spectroscopic Ellipsometer
椭偏仪350–7400 cm⁻¹化学与掺杂分析
红外光谱椭偏仪，采用 FTIR 原理，用于材料化学键、组成、掺杂与自由载流子相关性质分析
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自动化光谱椭偏仪
Spectroscopic Ellipsometer with Wafer Automation
椭偏仪2″–12″ 晶圆产线批量品质控制
光谱椭偏仪集成晶圆片盒装载、预对准与缺片检测，适合产线批量测量与自动化品控
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晶圆几何测量系统
Wafer Measurement System
几何量测2″–12″ 晶圆晶圆几何与台阶测量
非接触共焦光学系统，用于晶圆厚度、TTV、Bow、Warp、台阶 / 凸点高度及沟槽深度等几何量测
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教学型光谱椭偏仪
Educational Spectroscopic Ellipsometer
椭偏仪250/370–1100 nm教学与小型研发
入门级光谱椭偏仪，面向高校教学与小型研发，配置经济，支持薄膜厚度、折射率与多层膜分析
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科研级光谱椭偏仪
DUV–Vis–NIR Spectroscopic Ellipsometer
椭偏仪190–1700 nm科研级薄膜分析
科研级光谱椭偏仪，覆盖深紫外至近红外，偏振光学配置可选，适合复杂多层膜系分析
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光伏应用光谱椭偏仪
Spectroscopic Ellipsometer for Solar Applications
椭偏仪250–1700 nm光伏薄膜与纹理晶圆
面向 CdTe、CIGS 等光伏薄膜设计，可选配正入射反射测量与纹理样品倾斜平台
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光谱反射仪
Spectroscopic Reflectometer
反射仪190–2500 nm快速常规膜厚测量
正入射反射光谱快速测量薄膜厚度与折射率，适合经济型日常检测与产线配置
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晶圆膜厚映射系统
Film Thickness Mapping System
反射仪8″ / 12″ 晶圆2D/3D 均匀性映射
基于光谱反射自动扫描 8″ / 12″ 晶圆，生成膜厚与折射率均匀性映射
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显微分光光度计
DUV-Vis-NIR Microspectrophotometer
显微分光250–1700 nm图案化结构微区光谱
显微成像结合微区光谱测量，在微米级区域获取反射、透射、吸收光谱及薄膜参数
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经济型显微分光光度计
Economical Microspectrophotometer
显微分光200–1700 nm高校与小型研发
经济型微区光谱系统，面向高校、小型实验室与初创研发团队，保留显微定位、微区光谱与薄膜测量能力
选型与配置咨询
根据测量对象、波段范围、样品尺寸、精度要求与自动化需求，协助确认薄膜光学、显微光谱、表面轮廓与晶圆几何等量测方案，支持新增设备、替换升级与定制配置
应用与安装支持
结合测量方法、薄膜建模、样品制备、安装调试与操作培训，协助完成设备导入、方法建立与常见应用问题排查，提升日常使用效率
维修与持续服务
面向在用量测设备的光源、探测器、运动平台、控制系统与软件通信问题，协助开展部件更新、性能恢复与故障排查，提供后续技术跟进支持